Микрон и ЗНТЦ будут совместно развивать отечественное электронное машиностроение

24 сентября на форуме «Микроэлектроника 2024» резиденты ОЭЗ «Технополис Москва» - Микрон, крупнейший производитель российской микроэлектроники (входит в группу компаний «Элемент»), и Зеленоградский нанотехнологический центр, ведущий российский исследовательский центр в области технологий и оборудования микроэлектроники, подписали долгосрочное соглашение о сотрудничестве в целях решения задач импортозамещения оборудования. Предметом соглашения является сотрудничество в освоении технологий и производстве фотолитографического оборудования с нормами 350-90 нм на территории Российской Федерации.

В рамках соглашения планируются работы по постановке технологии производства отечественного оборудования и обеспечению им производственных площадок, проведение совместных исследований, экспериментальных работ и тестирования установок фотолитографического и электроннолучевого оборудования, оборудования контроля привносимой дефектности на собственных производственных площадках, а также организация программ обучения и стажировок специалистов.

Соглашение о сотрудничестве подписано генеральным директором АО «ЗНТЦ» Анатолием Ковалевым и генеральным директором АО «Микрон» Гульнарой Хасьяновой.

«Актуальная задача для микроэлектроники сегодня - развитие электронного машиностроения и технологий, прежде всего фотолитографии. Производство фотолитографа требует мощнейшего научного потенциала, в мире менее 10 стран, способных его производить, в их числе и Россия. В рамках сотрудничества с Микроном планируются совместные исследования, экспериментальные работы и тестирование фотолитографического оборудования с топологическими нормами 350-90 нм, разрабатываемого совместно с белорусским ОАО «Планар», - отметил генеральный директор АО «ЗНТЦ» Анатолий Ковалев.

«Фотолитография – ключевая операция в микроэлектронике. Оборудование, которое мы будем осваивать совместно с ЗНТЦ, предназначено для выпуска чипов с топологическими нормами до 350 нм, которые используются в силовой электронике, автоэлектронике и промышленных системах. Импортозамещение оборудования – необходимое условие обеспечения технологического суверенитета», - сообщила Гульнара Хасьянова, генеральный директор АО «Микрон».

Фотолитограф - важнейшее оборудование в техпроцессе, предназначенное для формирования структуры микросхемы на кремниевой пластине, покрытой слоем фоторезиста — полимерного светочувствительного материала.

Микроэлектроника - одна из сквозных и критических технологий, важных для обеспечения задач технологического суверенитета. Микрон - главная отраслевая производственная площадка, открытая для сотрудничества со всеми, кто заинтересован в развитии отечественной компонентной базы, локализации продукции, импортозамещении материалов и развитии русской инженерной школы, технологической базы и производства.

Новые разработки силовой электроники представлены на коллективном стенде ГК Элемент - стенд №14 в выставочной зоне юбилейного форума «Микроэлектроника 2024», который проходит 23-28 сентября на площадке Научно-технологического Университета «Сириус» (Федеральная территория «Сириус», Олимпийская деревня).