В «Ростехе» разработана технология получения высокочистых газов

По сообщению «Ростеха», во входящем в госкорпорацию холдинге «Росэлектроника» разработана технология получения, хранения и транспортировки высокочистых газов, которая применяется при изготовлении современной микроэлектронной продукции. Собственное производство высокочистых газов ориентировано на замену импортных материалов, используемых при выпуске отечественных электронных компонентов, и создание востребованных на рынке микроэлектроники высокотехнологичных изделий. 

«Многие специальные газы необходимого для микроэлектронной отрасли уровня чистоты в России до настоящего времени не изготовлялись. Входящее в «Росэлектронику» НПП «Салют» разработало технологии промышленного производства моносилана, арсина, фосфина, аммиака, бора трехфтористого, бора треххлористого, – рассказали в госкорпорации, добавив, – На НПП «Салют» созданы технологии получения смесей газов с определенным соотношением по составу и содержанию основных примесей, поставляемых в баллонах высокого давления, и арсина, фосфина, бора трехфтористого, поставляемых в баллонах низкого давления».

В «Ростехе» также уточнили, что для решения задачи сохранения степени чистоты полученных материалов при их транспортировке и хранении на предприятии решили использовать специальную подготовку баллонов перед наполнением высокочистыми газами. Такой подход позволяет сохранять требуемую чистоту материалов в баллонах низкого давления минимум 6 месяцев, а в баллонах высокого давления – от 12 месяцев. 

Ранее iot.ru рассказывал, что разработанная в «Росэлектронике» IIoT-платформа для мониторинга технологических процессов на производстве вошла в реестр российского программного обеспечения.

Чтобы оперативно получать наши новости в удобном формате, подписывайтесь на наш Telegram-канал.

Источник изображения: «Ростех»